ترمال مس فلو کنترلر 2688
Thermal Mass flow controller

معرفی ترمال مس فلو کنترلر

ترمال مس فلو کنترلر گاز 2688 برای انواع گازهای معمولی مناسب هستند و با دقت اطمینان بخشی نتایج اندازه‌گیری را نمایش میدهد : با دقت تکراری بالا تا %0.2 F.S: 1×1010Pa m³/sec
این ترمال مس فلو کنترل با نرخ نشتی کم. و هوابندی خوب؛ می تواند چندین خروجی سیگنال، از جمله سیگنال های دیجیتال، سیگنال های آنالوگ 1-5 ولت و سیگنال های آنالوگ 4-20 میلی آمپر را پشتیبانی کنند. برای روشن کردن این فلوکنترل دیجیتال می توانند از یک منبع تغذیه (+15~+28VDC) استفاده کنند و برای سناریوهای مختلف کاری مناسب است. پروتکل استاندارد ارتباطی باز، راحتی را برای مشتریان فراهم می کند تا خودشان نرم افزار کنترل و جمع آوری را توسعه دهند. در عین حال، این محصولات همچنین نرم‌افزار رایانه با کیفیتی به مشتری به صورت رایگان ارائه می‌کنند که اشکال‌زدایی و کارکرد را برای کاربران راحت می‌کند

کاربرد مس فلومترها

ترمال مس فلومترها (MFC) عمدتاً برای کنترل دقیق و اندازه گیری جریان جرمی گازها استفاده می شود. آنها کاربردهای مهمی در تحقیقات علمی و تولید فناوری مدارهای مجتمع نیمه هادی، مواد ویژه، صنایع شیمیایی، صنعت نفت، پزشکی، حفاظت از محیط زیست و خلاء و سایر زمینه ها دارند. کاربردهای معمولی عبارتند از: تجهیزات فرآیند مدار مجتمع، مانند اپیتاکسی، انتشار، اچ پلاسما، کندوپاش، کاشت یون و تجهیزات مختلف CVD. سایر تجهیزات صنعتی مانند ذوب فیبر نوری، دستگاه‌های میکروواکنش، سیستم‌های توزیع گاز مخلوط، دستگاه‌های نمونه‌گیری گاز، مترهای مویرگی، کروماتوگرافی گازی و سایر ابزارهای تحلیلی وکیوم .

• Warranty 1 Year
• Measurement Range 2~200 SLM (Different ranges can be customized)
• Accuracy ±1.0% S.P.(≥35%F.S.) ±0.35%F.S.(<35%F.S.) ±1.0%F.S.
• Pressure resistance strength 3MPa
• Response time 1sec;≤2sec
• Linearity ±0.5% F.S.
• Output signal RS485/EtherCAT/Voltage/4-20ma